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一方、上記の位置F3では、複数のフィンガー部11cの軸芯が把持対象物Pの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部101による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット10が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部11cの先端が把持対象物Pに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット11は、保持ばね15の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体13の駆動部13cから被動部11tが駆動力を受けてしまい、把持対象物Pを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Pに接触したフィンガー部11cに対応する把持態様検出器S3~S5のいずれかの検出信号Sdが変化したり、或いは、上記コレット11の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器S2の検出信号Scが変化することにより、制御部101が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器S3~S5の検出信号Sdが変化したフィンガー部11cがどれか、複数のフィンガー部11cの幾つにおいて検出信号Sdが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器S2の検出信号Sdによってコレット11の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。

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図8には、第7実施形態のハンドリングユニット70の正面図(a)及び縦断面図(b)を示す。この第7実施形態では、第1実施形態と同様のコレット71、ハウジング72及び作動体73を備え、第1実施形態と同様のコネクタ78を介して流体供給口72pから流体がシリンダ構造72s内に供給可能になっている。このため、第1~第6実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、上記流体の流体圧が低減され若しくは消失された状態で、コレット71の複数のフィンガー部71cがその弾性変形部71bの弾性復元力により拡径して把持対象物Pを内側から把持して把持状態となり、上記流体圧が増大され若しくは印加された状態で、駆動部73cにより被動部71tに駆動力が与えられることにより、コレット71の複数のフィンガー部71cが弾性変形部71bの内側への弾性変形により把持対象物から退避して非把持状態となる点で第1実施形態と異なる。すなわち、コレット71の把持対象物Pへの把持態様は第6実施形態と同様に内径把持であるが、基本的な構造は第1~第5実施形態と同様に構成される。ただし、作動体73の動作によってコレット71が把持状態から非把持状態へ移行し、作動体73の退避によってコレット71が非把持状態から把持状態に戻る点で、第1~第5実施形態とは逆になる。このコレット71では、スプリングバック量が負の値に設計されており、駆動力を受けない状態で弾性変形部71bの弾性復元力に基づく把持力が発生し、駆動力を受けることによる弾性変形に基づいて把持力が低下し若しくは消失する。

前記筒体と前記軸体とを非回転時に同軸状態に保持するように前記筒体と前記軸体との間に介装された環状弾性体と、

ハンドリングユニット10には、制御部101に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第4実施形態の位置検出器49と同様に、作動体13の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ssを出力する作動体位置検出器S1と、コレット11の軸線方向の位置を検出し、検出信号Scを出力するコレット位置検出器S2と、コレット11の複数の弾性変形部11b又はフィンガー部11cの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Sdを出力する把持態様検出器S3~S5と、複数のフィンガー部11cの少なくとも一つに設置され、検出信号Stを出力する熱電対などの把持対象物Pの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Pの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器S6とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器S3~S5は、各弾性変形部11bやフィンガー部11cに対応するそれぞれの検出信号Sdを出力するものであってもよく、また、検出信号Sdとして、複数の弾性変形部11bやフィンガー部11cの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。

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図5には、第4実施形態のハンドリングユニット40の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第4実施形態では、第1実施形態と同様のコレット41、ハウジング42及び作動体43を備え、第1実施形態と同様のコネクタ48を介して流体供給口42pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第3実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、作動体43の受圧部43dの軸線方向の位置を検出する近接センサなどからなる位置検出器49を備えている点で第1実施形態と異なる。この位置検出器49は、図示例では、ハウジング42の基端部から支持部42dを貫通してシリンダ構造42sの内部に配置された検出部49sを備える。なお、この位置検出器49は、コレット41のフィンガー部41cが把持状態と非把持状態のいずれにあるかを判別できる程度に、作動体43の軸線方向の位置を検出できるものであればよい。ただし、位置検出器49を、作動体43のシリンダ構造42s内の位置を詳細に検出できるセンサ機能を備えたものとすることにより、さらに詳細な状況を検知でき、後述する制御部の制御下において、さらに詳細な制御を行うことが可能になる。例えば、作動体43の非把持状態から把持状態に移行したときの軸線方向のストロークを検出することにより、複数のフィンガー部41cによって把持された把持対象物の把持寸法(把持径など)を推定することができる。

引清 梁章鉅 《归田琐记·张孟词贡士》:“阮芸臺 师哭 孟词 云:‘ 张孟词 志趣高洁,风仪峻朗,博闻元览,颖秀迈伦。’”

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。

最初に、機能実現手段100Aにおける処理内容を説明する。この機能実現手段100Aは、流体供給源102の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット11のフィンガー部11cの把持力を制御する手段である。コレット11のフィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力は、流体圧が受圧部13dに加わることによって生ずる作動力が作動体13に加わり、この作動体13に加わる作動力と、作動ばね14の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部13cから被動部11tに与えられることにより、フィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器P1により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部101の制御信号Rp1によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器S1の検出信号Ss、把持態様検出器S3-S5の検出信号Sd、又は、把持対象物検出器S6の検出信号Stの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部101が制御信号Rp1を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Sdの他に、検出信号Ssからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Stからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。

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前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、

図4には、第3実施形態のハンドリングユニット30の縦断面図を示す。この第3実施形態では、第1実施形態と同様のコレット31、ハウジング32及び作動体33を備え、第1実施形態と同様のコネクタ38を介して流体供給口32pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1若しくは第2実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット31の複数のフィンガー部31cがハウジング32の先端部から軸線方向先端側へ突出している点で第1実施形態と異なる。ここで、フィンガー部31cの把持面31gはハウジング32の先端部より突出した位置にあるため、把持動作時において、ハウジング32の先端部が把持対象物の周囲の構造と干渉しにくくなることから、より広範な状況下においても把持動作を可能とすることができる。

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