さらに、本実施形態では、ハウジング１２の軸線方向先端側の支持部１２ｋと、軸線方向基端側のシリンダ構造１２ｓの内面との間に、これらの間の内側寸法（内径）の差に相当する段差を備えた内側段部１２ｅが設けられるとともに、作動体１３の軸線方向先端側の被支持部１３ｋと、軸線方向基端側のシリンダ摺接部１３ｓとの間に、これらの間の外側寸法（外径）の差に相当する段差を備えた外側段部１３ｅが設けられる。これにより、シリンダ構造１２ｓと作動体１３の受圧部１３ｄ及びシリンダ摺接部１３ｓにより構成されるシリンダ構造の作動面積を大きく確保して大きな把持力を容易に実現できるとともに、軸線方向先端側の構造のコンパクト化が容易化される。
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この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。
前記筒体の内周と前記軸体の前記大径胴部との間の環状隙間は、直径方向の隙間寸法が均一となるように設けられ、
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なお、ハウジング１２の先端部１２ｃは、本体１２ａに対してボルトなどで着脱可能に構成されているとともに、先端部１２ｃを本体１２ａから取り外した状態ではコレット１１も着脱可能に構成される。このため、ハンドリングユニット１０を図示しないロボットアームの先端部などから取り外すことなしに、コレット１１を交換することができるので、コレットにおける把持構造の変更やスプリングバック量の変更などを容易に行うことができる。
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【課題】機械加工の過程で生じる被加工物に対する位置誤差を吸収しながら加工工具の接触面を増やすことができ、しかも加工工具に過負荷を与えることなく効率よく機械加工を行うことが可能な加工工具用保持具および加工方法を提供する。【解決手段】加工工具用保持具１は、筒体１０と、その内部に環状隙間ｇ１を有して収容され、先端部２１が筒体１０の先端より突出している軸体２０と、軸体２０を先端方向に付勢するコイルばね３２と、軸体２０を先端方向停止位置と後端方向停止位置との間を移動可能に位置規制する位置規制部３６と、筒体１０と軸体２０とを相対回転不能に筒体１０と軸体２０とにわたり設けられ係合部３７と、筒体１０と軸体２０とを非回転時に同軸状態に保持するように筒体１０と軸体２０との間に介装された環状弾性体３１と、軸体２０の先端部２１に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部５０と、を備える。【選択図】図１
また、ハンドリングユニット１０は、コネクタ１９を介して排気装置１０４に接続される。排気装置１０４は、排気経路１０５に沿って設置された圧力調整器Ｐ２及び開閉弁Ｖ２を経て、ハンドリングユニット１０の内部（軸孔１１ｘ及び通気口１２ｑ）を吸引し、排気する。なお、排気装置１０４の代わりに、上記と同様の流体供給源を接続してもよく、また、排気装置と流体供給源とを切替可能に接続するようにしてもよい。
以上説明したハンドリングユニット１０においては、図１に示す非把持状態において、ハウジング１２の基端部１２ｂに装着された図示のコネクタ１８などを介して流体供給口１２ｐから供給されるエアなどの流体の流体圧が受圧部１３ｄに加わることにより、作動ばね１４の付勢力に抗して作動体１３が軸線方向先端側へ移動する。これによって、駆動部１３ｃが被動部１１ｔに駆動力を与えるため、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂが弾性変形し、複数のフィンガー部１１ｃが内周側へ移動する。これにより、図示しない把持対象物が複数のフィンガー部１１ｃの内側に配置されていれば、複数のフィンガー部１１ｃによって把持対象物が把持される把持状態となる。
前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、
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